IPEX 740/760 PLD系列准分子激光器

基于IPEX800系列工业级准分子激光器，专为PLD应用进行了性能优化

特点

• GasMiser-1000选件与ICON技术相配合，可延长气体寿命，降低运行成本

• 优异的光斑均匀性和脉冲与脉冲间能量稳定性，脉冲宽度短

• 在所有重复频率下，能量都保持恒定

• EasyClean自动密封功能可保持气体填充和减少维修停机时间

• 高稳定的光学支架可获得非常好的光束指向精度

• 可定制光束传输系统，以适合特别的PLD应用需求

性能稳定，可信赖的PLD用激光器

• 恒定脉冲能量：将ICON和GasMiser-1000两种技术结合的IPEX-740/760系列准分子激光器，在单次换气后都具有无与比伦的动态和静态气体寿命。从单次到最大重复频率，脉冲能量在所有重复频率都恒定。这种方法保证了PLD工艺参数不会随激光器工作时间和重复频率的变化而改变。

•  恒定脉冲稳定性：采用先进的能量监测方式来调节脉冲能量，可以准确地调节放电电压和混合气体，   所有工作条件下（包括Burst模式）都保持恒定的输出能量。脉冲与脉冲间稳定性优于1%。

• 恒定指向稳定性：高稳定性的核心光学元件支架，提供优于200μrad的指向稳定性，确保光学维修后不需要重新校准。

• 恒定光束质量：IPEX-740/760系列激光器的光束强度分布被设计为边缘陡峭，顶部平坦，特别是在激光腔工作寿命内变化极小。

技术规格

IPEX-740/760系列准分子激光器的技术规格详见产品手册或者咨询我司销售。