IPEXTM 840/860系列工业级准分子激光器
应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器
采用ICONTM技术,延长气体寿命,降低成本
EasyClean自动密封镜片功能,可在清洗更换镜片时密封激光腔
可选高亮度光学元件,来满足要求小发散角和长相干长度的应用
高稳定镜片
特点
ICON激光腔
EasyClean自动密封镜片功能
先进的镜片支架
专利的腔镜固定技术
能量稳定控制
预电离
内部气体过滤设备
优点
气体寿命长,更换时间间隔长,运行成本低
简化了光路维护,填充气体和钝化效果保持耐久
200μrad指向稳定性
镜片清洁重装后不需要重新调节
快速、精准、稳定的能量控制,可选内、外触发和Burst工作模式
优异的能量稳定性,≤1.5% (KrF)
除去微粒,保持主镜片洁净
规格
激光器规格参数详见产品手册或者咨询我司销售。