主要特点
超快电晕预电离技术
HV-固态脉冲发生器
激光腔体<3L
全新技术的金属陶瓷腔
集成真空泵和卤素过滤器
全部风冷，温度控制
系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
方便清洗的光学镜架
能量稳定模式
符合欧洲CE标准
RoHS认证
应用
微加工
激光烧蚀
医学（屈光手术）
光谱学
计量
技术规格
技术规格
气体介质 | ArF | KrF | |
波长 | 193 | 248 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最大脉冲能量 1 | 10 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 8.0 | 10 | W |
最大重复频率 | 1000 | Hz | |
脉冲宽度 2 | 5 – 8 | ns | |
光斑尺寸 2 (V x H) | 4 x 6 | mm | |
光束发散角 2 (V x H) | 1 x 2 | mrad | |
能量稳定性 (标准差) | < 3 | % | |
尺寸 (L x W x H) | 540 x 470 x 370 | mm | |
重量 | 60 | kg | |
冷却方式 | 风冷 | ||
电源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | ||
所有规格都是典型的数据，如产品有改进，恕不另行通知更改。
1.在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 .典型值, FWHM。