主要特点
超快电晕预电离技术
HV-固态脉冲发生器
激光腔体<3L
全新技术的金属陶瓷腔
集成真空泵和卤素过滤器
全部风冷，温度控制
系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
方便清洗的光学镜架
能量稳定模式
符合欧洲CE标准
RoHS认证
应用
微加工
激光烧蚀
医学（屈光手术）
光谱学
计量
技术规格
| 气体介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
| 波长 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
| 高压开关技术 | 固态开关 | |||||
| 最大脉冲能量 1 | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | mJ |
| 最大平均功率ATLEX-300-IATLEX-500-I | 0.20.5 | 2.44.0 | 4.06.5 | 2.03.0 | 1.72.5 | WW |
| 最大重复频率ATLEX-300-IATLEX-500-I | 300500 | HzHz | ||||
| 脉冲宽度 2 | 5 – 8 | ns | ||||
| 光斑尺寸 2 (V x H) | 4 x 6 | mm | ||||
| 光束发散角 2 (V x H) | 1 x 2 | mrad | ||||
| 能量稳定性 (标准差) | < 3 | % | ||||
| 尺寸 (L x W x H) | 540 x 470 x 370 | mm | ||||
| 重量 | 60 | kg | ||||
| 冷却方式 | 风冷 | |||||
| 电源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |||||
所有规格都是典型的数据，如产品有改进，恕不另行通知更改。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值, FWHM。