主要特点
ª 超紧凑的尺寸
ª 超快电晕预电离技术
ª HV-固态脉冲发生器
ª 激光腔体<3L
ª 全新技术的金属陶瓷腔
ª 集成真空泵和卤素过滤器
ª 全部风冷，温度控制
ª 系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
ª 方便清洗的光学镜架
ª 能量稳定模式
ª 符合欧洲CE标准
ª RoHS认证
应用
ª 医学（屈光手术）
ª 光谱学
ª 微加工
ª 试验和测量
技术规格
气体介质 | ArF | KrF | |||
波长 | 193 | 248 | nm | ||
高压开关技术 | 固态开关 | ||||
最大重复频率 | 300 | 500 | 300 | 500 | Hz |
最大脉冲能量 1 | 10 | 10 | 15 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 2,4 | 4 | 4 | 6 | W |
脉冲宽度 2 | 5 – 8 | ns | |||
光斑尺寸 2 (V x H) | 4 x 6 | mm | |||
光束发散角 2 (V x H) | 1 x 2 | mrad | |||
能量稳定性 (标准差) | < 3 | % | |||
尺寸 (L x W x H) | 630 x 400 x 300 | mm | |||
重量 | 60 | kg | |||
冷却方式 | Air | ||||
电源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | ||||
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。所有规格都是典型的数据，如产品有改进，恕不另行通知更改。
2 典型值, FWHM。