意桐光电力于精密光学隔振平台的研发,自主研制了适用于精密仪器仪表、精密测量、精密加 工及生物等领域的精密光学平台系统——Photon Dynamics,综合性能达到国际先进水平,拥有多项专利技术,广泛应用于国内外大型激光系统装置、Zygo 24″(Ø600 mm)干涉仪精密气浮隔振平台系统等,提供国际一流的精密系统振动控制解决方案。

    光学平台台面采用钢质蜂窝芯结构,具有高刚度-重量比,能显著提高平台的基频模态振动固有频率,使模态振动形变在高频段响应;同时由于蜂窝芯结构梯形芯板与隔板的直边纵向约束,形成纵向层状约束阻尼,侧板采用宽带阻尼材料,蜂窝芯与上下台面采用低温度应变胶恒温粘接工艺粘合而成,形成阻尼台面,优良的组合宽带阻尼可以显著降低振动响应峰值。

    空气弹簧隔振支撑系统在具有较高的支撑能力的同时具有较低的刚度,其垂直固有频率一般为1.2-2Hz。水平方向多采用单摆结构,其水平固有频率为1.5-2Hz。在空气弹簧支撑腿内采用双气室、空气阻尼孔提高隔振阻尼比,光学平台隔振系统能显著降低环境振动的影响。


BAT系列气浮支撑腿:

BAT系列气浮支撑腿适用于高精度高稳定敏感性的检测仪器:原子力显微镜、干涉仪、光刻机等科学装置和设备。每个光学平台系统根据平台负载和平台自重选用SAT支撑或者BAT支撑,并需配备高压气源(空气压缩机或氮气瓶)和气路控制系统(高度控制阀和管路)实现光学平台的自动平衡。

BAT系列:大膜片气囊,双气室,空气阻尼,隔振性能好,固有频率:垂向1.2-2Hz、横向1.5-2Hz;

应用范围:大平台,重负载;

如图所示:

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产品特点:

  1. 高性能气动隔离器,垂直共振频率低至1.2 Hz

  2. 混合室设计最大化了隔离带宽和稳定性

  3. 高精度的重新调平功能改善了受干扰后的重新定位

  4. 具有专利的自定心设计可实现最平滑的隔离

  5. 可调节隔离腿高度可以对不平坦的地面进行补偿


产品实例:

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