产品特点：
l 精密气浮平台实现超高平稳运动
l 直线电机结合了光学线性编码器
l 极低的亚微米量级平面度误差
l 高负载
产品应用：
l 计量学
l 工业CT
l 光学检测
l CMM
l 平面度检测
型号参数：
