秒激光三维微纳打印系统基于多光子吸收的工作原理,实现了超光学衍射极限的加工分辨率。该系统可以针对聚合物、玻璃、晶体、半导体、二维材料、金属等多种材料进行三维结构加工;分辨率可达到150~200nm;定位精度小于50nm;针对二维材料,该系统具有自动表面追踪功能;具有原位表征功能,便于发现加工过程中的新现象;具有并行打印功能,大大提高了加工速度。该飞秒激光三维微纳打印系统为科研领域提供了更多新的可能性。

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