ioNext工艺流程
ioNext波导是在需要刻蚀的掩模板选择性掺杂,然后通过掩模+光刻工艺在相应的体玻璃基底上形成具有精确控制的MFD和有效折射率的渐变折射率波导。
订购需求:
l 设计服务:从概念到GDS文件
l 流程设计包:带精确波导模型,可提供给用户
l 带尾纤和测试服务:为实验室提供元器件
l 短周期:从GDS到芯片,1个月的周期
l 掺铒平台:为激光器和放大器设计