产品简介
滨松的LDLS™ 宽光谱高亮度光源是一种激光驱动白光光源,综合了单点光源的多个优点:
▪   宽光谱:170nm~2500nm
▪   超高亮度/辉度
▪   超长寿命,超高稳定性
▪   符合全球晶圆代工厂的工业标准
▪   高可靠性保证365天不停歇的工作


主要应用
▪   半导体量测与检测
▪   光纤与光学元件检测
▪   光谱仪,单色光源
▪   生命科学&生物成像
▪   材料表征&薄膜监控
▪   光学传感器测试

光谱图



参数指标

型号

EQ-99X

EQ-99XFC

EQ-77

EQ-400

波长范围

170nm-2500nm

190nm-2500nm

170-2500nm

170-2500nm

等离子体尺寸

100um×180um

100um×180um

125um×320um

370um×800um

数值孔径NA

0.47

0.22

0.5

0.5

寿命

10000 hours

10000 hours

10000 hours

10000 hours

等离子体到窗口距离

28mm

-

18mm

28mm

光学接口

发散光束

光纤耦合输出

发散光束具有反射器

发散光束具有反射器

宽谱光功率

~0.75W

~95mW

~2.75W

~15W

光谱辐射@500nm

  25 mW/mm2.sr.nm

               NA

               75mW/mm2.sr.nm

         110mW/mm2.sr.nm

灯室尺寸

84×78×87mm

84×78×87mm

128×207×95mm

137×146×133mm

灯室重量

0.7kg

0.7kg

2.2kg

2.7kg

控制器尺寸

106×113×302mm

106×113×302mm

157×251×133mm

134×483×538mm

控制器重量

1.4kg

1.4kg

2.9kg

18.8kg

冷却

无需额外冷却

无需额外冷却

灯室:>0.5L/min18-30℃,0.69MPa

灯室:>1L/min18-30

控制器:3-4L/min18-24

氮气净化

需要

需要

需要

需要

LDLS-laser-driven-light-sources-main-photo.jpg