极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3Å RMS，可最大程度地降低散射。这对 EUV 波长必不可少，因为 EUV 波长的散射比长波长更多. EUV 球面反射镜的通带非常窄，约为 0.5nm，确保只会在高谐波生成 (HHG) 应用中反射 13.5nm 的关注谐波。EUV 球面反射镜的 典型应用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 纳米加工.

注意: 每个反射镜均附运行样本的测试数据.