1.振镜扫描模块
型号
通光孔径
工作波长
主要特点
运用
HurryScan
7
10
14
20
25
30
40种标准镀膜覆盖各种波段
优质扫描头
最高精度(可选用编码器技术)
最高动态性
最高灵活性
最佳通用性
内置诊断和监控功能
材料加工
打标
微结构加工
快速加工