1.振镜扫描模块

型号

通光孔径

工作波长

主要特点

运用

HurryScan

7

10

14

20

25

30

40种标准镀膜覆盖各种波段

优质扫描头

最高精度(可选用编码器技术)

最高动态性

最高灵活性

最佳通用性

内置诊断和监控功能

材料加工

打标

微结构加工

快速加工