该款探针台是一款高性能型，低漏电流达~10fA, 根据需要有多种option供选择.

规格＆应用:

- 8英寸真空低噪音卡盘.

- X,Y转台：行程200mm x 200mm, 分辨率：5um

- Z轴 ： 15mm

- 旋转角：可微调控制

- 显微镜&CCD: 可达~1000X

- 定位器： 微型定位器主体单元 PB100.

                  针座分辨率，1um  行程：13mm.

- 选项：暗箱；防震台；加热卡盘........