该型号为高性能型. 通过软件可进行mapping； 12"wafer 或碎片样品均可适用；低漏电流~50fA, 可选配加热卡盘，高倍显微镜，多通道探针卡，IV,CV,RF,高频等.

规格＆应用：

-半自动探针台＆全测量.

-12英寸低噪音卡盘。

-X,Y转台行程300 x 300mm.

-Z转台：上/下移动距离 15mm.

-高倍显微镜&高清CCD摄像机

-定位器：微型定位器主体单元PB100，真空底座分辨率1um.

-选项：暗箱,防震桌........