规格＆应用：

-80mm卡盘

-  低漏泄电流-10fA以下

-  陶瓷背部：用于背部偏置或隔离 MBG25,MBG40

-真空范围：1x10E 3 or 6 torr

-温度范围：77K~570K，LN2（温度选项：770K可用）

                  -260(10K)~300(570K),780K,1000K.氦气

-显微镜＆CCD摄像机

-真空定位器支架

-真空泵及计量系统

- 有多种Option可供选配：多通道气体导入，RF探针，激光或光谱光照，真空样品转移盒.......

-根据用户需求也可定制