规格&应用:

-主腔室:250 x 180 x 40mm  矩形

- 真空 :1 x 10E-3torr

-温度范围:80K-570K;高温版本:RT~1000K

-卡盘尺寸:50mm Dia

-定位器&固定支架

-显微镜及精度

-根据用户需求...(可定制)