产品规格：

- 卡盘尺寸：Φ50mm

- 探针座：X,Y,Z轴 ，精调旋钮

- 显微镜：Max.300x（更大倍数可订制）

- CCD相机：2.1M像素

- 温度范围：80K~570K，高温：RT~1,000K

其他选项：

- 气氛导入

- 光照测量

- 高真空

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*根据具体需求可定制