pco.edge 5.5 sCMOS相机在晶圆体检测中的高效应用

——广州市元奥仪器有限公司为您解答

在过去的十年里，人们对碳化硅(SiC)器件的兴趣显著增长。SiC是一种宽带隙半导体，由于其高能量效率，特别用于高功率、高温和高频器件。尽管在过去几年中，SiC基板和外延片的质量有了很大的提高，但堆垛层错(SFs)和基面位错(BPDs)等关键缺陷仍可能导致双极退化，最终导致器件完全失效。

为了在芯片级别上识别这些缺陷，已经开发了不同的表征方法，例如缺陷选择性蚀刻和X射线地形图。然而，这两种方法都不适于在设备生产过程中进行快速的内联质量控制，因为它们要么以破坏性方式工作，要么成本高，时间长，高消耗。

因此，IN EGO开发了一个新的多通道SiC检测系统，允许在室温下快速、无损和无接触地检测器件生产链上SiC芯片的关键缺陷。

INTEGO的系统专为洁净室环境IS04设计，能够处理100毫米、150毫米和200毫米SiC基片、外延芯片或部分加工的芯片。块化系统概念允许在检查方法、l1lumination类型和分辨能力方面进行单独配置。配合德国Excelitas PCO公司的pco.edge 5.5 sCMOS相机进行检测，pco.edge 5.5 sCMOS相机相机具有高分辨率，高帧速率、低噪声、高动态范围和量子效率，保证了最佳图像数据和最高图像质量。

INTEGO的尖端系统最多可配备三个独立检测站，适用于高吞吐量应用或灵活的研发用途。每个站都有一个高精度显微镜台和一个独立设计的光致发光、差分干涉对比度(DIC)或明暗场显微镜单元。根据所选择的显微镜放大倍数，图像分辨率可高达0.3Hm/像素，从而能够检测、识别和分类许多不同的缺陷甚至小于1Hm。

 INTEGO的高度定制化系统可有效优化和监控不同晶圆类型的生产过程，从而节省材料和器件生产的时间并降低成本。

德国Excelitas PCO公司的pco.edge 5.5 sCMOS相机，具备高分辨率、高感光度、弱光成像的优点，将高速实验过程完美记录，为实验提供强而有力的图像数据支持。

pco.edge 5.5 sCMOS相机配备享有盛誉的科学CMOS（sCMOS）图像传感器，可提供清晰图像和精确测量。pco.edge 5.5 sCMOS相机可进行水冷系统升级，是要求高分辨率、高帧速、16位动态范围、可选快门类型和可选彩色图像传感器的应用的理想之选。

广州市元奥仪器有限公司作为德国Excelitas PCO公司高速相机在中国的一级代理商，为客户提供各种高速成像系统解决方案，如对pco.edge 5.5 sCMOS相机或其他相关产品感到兴趣，欢迎前来咨询。

（文献部分内容摘抄）

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