2023年6月28日上午,滨松中国半导体实验室在浦东新区举行了开业庆典。滨松中国总经理以及众多半导体行业龙头企业、相关产业专家和其他研究院合作单位出席了此次活动。该实验室致力于为中国华东地区的半导体客户提供更加直观的产品展示平台、全方位的技术支持基地以及技术交流的场所,全面助力泛半导体合作伙伴的蓬勃发展,该实验室的正式启用也对滨松中国布局半导体检测产业,进一步开拓中国半导体检测市场具有重要里程碑意义。滨松中国半导体实验室的成立是继上海X射线检测实验室之后的第二个本土化实验室,更是滨松中国在后疫情时代“立足中心、辐射全国”发展战略的重要举措,将全面负责中国半导体客户技术支持,产品交流以及产品开发等工作。中国半导体行业在过去十年的发展中,经历了“两次”重大的改变,从原有求“量”的规模化发展到如今求“质”的精细化发展,从原有局限于中低端产品的“制造”到如今追求高端产品的“自主研发”,十年间的每一步都走得坚定且有力,这每一点进步,每一点成就都要求我们在分析检测相关的方法、设备、技术方面不断地磨练升级。
十年间,滨松中国在半导体行业里面的探索从未停歇。为了把国际先进的检测和分析产品第一时间介绍给国内客户,为了快速解决半导体客户目前存在痛点问题,为了给国内客户提供更加贴合其需求的本土化技术服务,滨松中国从2021年就开始在半导体客户聚集的上海浦东新区张江地区筹划建立属于国内半导体客户自己实验室,如今终落成。
1、失效分析实验室:配备了PHEMOS-X、IPHEMOS-MPX等高端半导体检测设备,主要用于半导体失效分析产品展示、样品测试、配置方案确认等;
PHEMOS-X:滨松新推出的高精度微光显微镜,也是未来失效定位的主流产品,可以实现高端制程芯片精确失效定位。除了配置更加丰富的激光扫描光源之外,还配置高压,高低温等各种定制化探针台,满足各类芯片的失效分析需求。
IPHEMOS-MPX:高精度倒置微光显微镜产品,主要面向晶圆级或者复杂电路设计芯片的失效定位分析工作,具备微光发射,热发射,激光诱导发射,纳米镜头,固态浸润镜头,动态失效定位等多种分析方法集成一体的特点。
2、超净间实验室:十万级超净间,配备了MiNY PL、MiNY EL等高端半导体检测设备,主要用于Mini/Micro LED巨量检测产品展示,样品测试以及配置方案确认等;
MiNY PL:光致发光巨量检测设备,主要用于MiNi/Micro LED巨量快速在线检测,能实现传统电致发光方式不能达到的,每颗样品都可以独立测试的效果,大大提升了MiNi/Micro LED坏品检出率,实现早检出,早处理,降低后道工序修补成本。MiNY EL:电致发光测试设备,主要用于MiNi/Micro LED电致发光检测,可以实现快速、自动化测试,是MiNi/Micro LED产品质控抽检、中试线工艺研发、PL/EL结果对比修正、屏体产品final test以及失效分析的利器。
3、备品间:主要用于备品备件存储,保证在常规流程的检测下,可以第一时间为客户提供检测服务,以及必要的备品备件更换服务。
4、会议区:利用多媒体展示方式,为了来访客户提供全方位的技术培训、报告解析、产品培训、技术交流等服务。
滨松中国希望利用半导体实验室与国内客户一起搭建三个“平台”:1、展示平台:第一时间引入国内外的高端半导体实验设备、技术与国内客户一同观摩共享,与国内客户一起进步和成长;2、培训平台:为滨松半导体用户提供基础、进阶培训,让客户深入了解滨松半导体设备使用的各方面信息,解决产品使用过程中可能存在的潜在疑虑,提升客户使用感受,提升产品使用效率。除了产品使用前的培训,在产品使用中的相关维护、维修等内容,滨松中国也力求为客户提供“100%”满意的服务;3、验证平台:定制化方案或者技术验证平台,为客户提供更加丰富的、可定制化的产品方案和技术服务。配套使用的第三方产品或者技术验证平台,为客户提供经过验证的、可靠的整体解决方案。
滨松中国成立于2011年,是滨松集团在中国的市场与商务活动中心,全面负责滨松产品在中国销售、技术支持、售后服务,累计服务客户超过6500家,在上海、深圳、武汉均已成立分公司并且在这些地区还建立了一系列自有或联合实验室,以实现更快速、更贴合本土化需求的服务。滨松中国会持续提升半导体实验室软硬件水平,使其成为为中国半导体客户服务的平台和基地,更好地助力中国半导体市场的发展,在未来的发展当中会朝着“丰富”“高效”“灵活”“开放”这四个方面发展,即持续增加半导体检测相关产品以及滨松新发布的产品和技术展示;定期开展用户培训会,为滨松用户介绍更加高效的分析技巧和软件使用方式;为潜在客户开展定制化样品测试,找到最适合每位客户的产品配置方案;邀请行业内专家和用户交流半导体检测和失效分析方面的经验技术,为客户提供一个“畅所欲言”的平台。“不断探索未知未涉”是滨松一直以来秉承的使命,滨松希望在光子一途,可以与越来越多的能人志士携手前行,一起推动中国光子产业的未来,引领属于“光子”的第四次工业革命。
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