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TMC 混合压电陶瓷/音圈电机主动隔振系统
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产品品牌：
TMC
交货周期：
1-3个月
产品简介：
TMC 混合压电陶瓷/音圈电机主动隔振系统Stage-Base 450 专门设计为高级半导体工具的主要振动x除系统，这些工具包含高精度电动 XY 平台。虽然此类工具需要极其有效的振动x除，但同样重要的是，它们需要由平台引起的有效载荷运动非常迅速地稳定下来，以大限度地提高工具吞吐量。
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