一、主要特性:光束质量:M²<1.5脉冲能量达200μJ脉宽可小于10ps峰值功率达20MW重复频率可达15MHz平均功率达100W波长1064、532、355、266nm二、产品应用:光伏产业,如:硅晶圆的划片、打孔和切割;薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀印刷工业,如:印刷轮雕版显示领域,如:构造导电层,横向连续硅结晶电子行业,如:印刷电路板的钻孔和切割工
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