电动倾斜台是电动控制倾斜的二维倾斜平台,并具有旋转倾斜功能,采用了电动促动器8CMA28-10,具有多轴手动操作倾斜台和真空倾斜台版本。Y倾斜±2°,Z旋转±2.5°, 整步分辨率1.25μm,重复精度1μm,最大载重15kg。
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