六自由度并联平台225.75采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位平台,提供六自由度平台操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。分辨率<1nm,最大负载1000g (10N),最大真空度10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad
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