六自由度并联微定位台P-SLC-24采用德国六自由度并联微纳平台hexapod提供六轴并联动力学纳米定位,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。分辨率<1nm,最大负载1000g (10N),最大真空度:10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad。
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