纳米线性位移台SLL12是长行程范围的线性纳米位移台,基于循环球滑块设计,小滑块结合不同长度的导轨,使其可以进行精确远程纳米位移定位或在有限空间内大行程范围的纳米位移定位。可以在同一个轨道上放置多个滑块。分辨率<1nm,负载能力30N(3kg),真空度低至10^-11mbar,行程范围70~475mm,尺寸33.8x27x13mm^3。
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