这款单轴压电致动器Piezo Actuator是为压电扫描定位设计的压电促动器,广泛用于扫描探针显微镜压电扫描和原子力显微镜压电致动和微纳操作,适合在开放和闭环系统中的光学压电驱动和扫描探针压电驱动应用。Z轴行程120µm, 闭环分辨率1nm,开环分辨率0.1nm,最大扫描速度10Hz, Z轴谐振频率3KHz,负载承重100g。
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