这款XYZ压电扫描台Piezo scanning Stage是为纳米压电扫描定位设计的三维压电扫描台和纳米电扫描台,广泛用于扫描探针显微镜压电扫描,原子力显微镜压电扫描和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电扫描定位和扫描探针压电扫描应用。XY轴行程200x200µm,Z轴行程20µm, 闭环分辨率1nm,开环分辨率0.1nm,最大扫描速度10Hz,XY轴谐振频率1KHz, Z轴谐振频率3
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