这款平面平行纳米压电扫描台Nano Piezo Scanning Stage是专业为纳米扫描和纳米定位扫描设计的平行平面压电纳米扫描器,广泛用于在开放或闭环系统中光学元件纳米定位扫描和扫描探针器件的扫描纳米定位应用。XY轴行程40x40µm,Z轴行程5µm,闭环分辨率1nm,开环分辨率0.1nm,最大扫描速度50Hz,XY轴谐振频率5KHz, Z轴谐振频率50KHz,负载承重50g。
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