电动真空位移台采用了适合真空度高达10^-6Torr的真空步进电机,所有的机械部件都使用高度真空兼容润滑脂润滑,是高精度电动真空位移平台,电动真空台。行程范围有10mm, 20mm, 25mm, 30mm,整步分辨率1.25um,水平载重3kg,竖直载重1kg,宽度30mm。
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