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三腔室分子束外延系统
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产品品牌：
孚光精仪
交货周期：
现货
产品简介：
三腔室分子束外延系统是带有三个MBE分子束外延生长腔室的异质结材料MBE生长设备,可用于在高达∅100mm的衬底上以及三个2英寸以上衬底上一次精确生长外延层,获得极好的厚度和均匀性能。三腔室分子束外延系统使用PA-МВЕ和NH3-MBE特殊型号的MBE生长设备,可生长InAlGaAsSb或InGaAlN外延异质结构。
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孚光精仪有限公司
公司地址：
Kuichong, Longgang, Shenzhen, ,P.R.China 龙岗区工业园
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