小型准分子激光器是一款真正的全功能微型准分子激光器,157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽7~9ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,在248nm时激光功率高达8W,在193nm激光功率高达4W,采用超紧凑型48 X 26 X 26厘米、15千克、风冷封装。
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