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DVIA-P主动式气动隔振器
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产品品牌：
青岛大一隔振设备
交货周期：
现货
产品简介：
DVIA-P系列是为半导体制造提供振动隔离。 当晶圆制造在线性电动平台上处理完整的电或光子集成电路时，在整个仪器上发生振动，并且半导体设备对低频振动非常敏感。 在这些情况下，DVIA-P系列通过气动执行机构将振动降至最低，并确定隔离有效负载的残余运动。
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