XUV/VUV极紫外光谱仪是一款掠入射XUV-VUV光谱仪器和极紫外光栅光谱仪器,非常适合表征测量短脉冲激光发射。适合探测6eV到210eV能量范围。绝对光学强度和光谱校准后,可精确测量激光XUV-VUV源(例如DPP和LPP源)发射的紫外光子数以及等离子体表面或气体介质中的高次谐波产生。
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