微型双晶片变形反射镜是特别为激光光束像差控制设计的Bimorph Mirrors。制造这种小型双晶片变形反射镜有两种办法,一种是使用几个压电片,第二种方法是在相当小的方形压电陶瓷上放置高密度的控制电极网格,从而制造出小电极。
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