这款晶圆自动四探针电阻率计是四点探针型的半导体晶圆和电阻薄膜的电阻率特性测量仪器,它采用微处理器电路直接计算出V/I数值,表面电阻率,薄片电阻率,晶片电阻率,金属化厚度,PN结类型测试。
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