大面积扫描开尔文探针系统能够在垂直方向移动开尔文探针实现电动控制开尔文探针与样品的距离。 样品安装到真空吸盘上,真空吸盘可带着样品移动150x150mm位移,从而实现开尔文扫描探针系统大面积扫描样品表面。
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