这款表面形貌仪,又称为光学形貌仪或三维形貌仪,它除了用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,表面形貌仪具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。
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