纳米干涉形貌仪nanoprofilometer是采用微纳干涉显微镜部分相干光的干涉技术制造的纳米轮廓仪和纳米形貌仪,可定量测量微米尺度和纳米尺度表面形貌轮廓,并且几秒钟能够采集2百万数据点。
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