干法刻蚀机ES373是大规模集成电路设计的精细工艺干法刻蚀系统。该干法刻蚀机专门用于大规模集成电路(LSI)失效分析,具有在多层器件上进行高宽高比刻蚀的能力,具有优越的功能和易用性。
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