桌面型紫外掩膜对准机是全球首款装备有紫外LED光源的mask aligner,是掩膜对准器中的理想冷光源紫外掩膜对准机。能够在4英寸工作面积上实现2微米微结构,对准精度高达3微米,广泛用于光刻掩膜对准曝光,适用于微流体芯片,微电子,光学微结构,MEMS等微纳器件的光刻制作。
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