型号: VTC-200PV产品概述: VTC200PV真空旋转涂机通用于半导体晶体、光盘制版等表亘涂要工艺。本机可用于强酸强生涂夏溶液的涂督。本机可以对貘机室进行抽真空,使样品在完全真空的状态下进行涂膜,适用于在空气中易氧化变质的膜材料的倢用,对腔体抽真空时采用样卡盘酉定样品。Ⅵ<-200門∨夷空旋涂貘机不对腔体抽夷空工作时利用夷空盡吸附的方式将样品走在样品吸盘上,该设备可储存12泪程字,每组程序
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