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小型三靶等离子溅射仪
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产品品牌：
合肥科晶
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产品简介：
产品概述
ⅥTC16-3HD是款卖型CE认证的等离子膜仪直流普通型），基片最大尺寸2英寸，加热温度为500度和空制面板为触屏式。它可以三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm.旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜它可以与真空泵，不锈钢纹管KFD25快速装卡箍相连用
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