SIT-200硅晶圆检测仪采用一台高速扫频激光器用于硅晶圆厚度探测。与传统光学测厚采用宽带光源不同,可调谐激光器具备非常高的功率谱密度,从而提高了动态范围;因此,SIT-200支持非抛光晶圆厚度测量,例如在湿刻过程中/湿刻后的晶圆。
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