这款小型 PECVD,其腔体为3°dax16°L的石英腔体,而且力热在石英腔体内部对样品进行力热,此系统配有2通道昆气系统和双旋机械泵。整套仪器按放在一个移动架上,以便于实验操作。等高子腔体内部的最高温度可以达到400,采用程序化控温。此款小型廉价的 PECVD系统对于慧漠生长和纳米线制作是款很好的选择
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