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小型滑动 PECVD管式炉系统
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合肥科晶
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现货
产品简介：
OTF-1200X-50S-PE-SL产品概TF1200X50-PESL是款小型动开启式 PECVD系统。此銮设备配有等子射频电源，直径为50mm的开声式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及机械泵组成该设备楼型可更新为不同类型的 PECVD系统，且设备性价比较为理
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