型号产品概述TF1200X- PESDFG50是款双炉体漫动的 PECVD系统,连接环手喜箱。此款设备中石英炉管与值环手套笔连接,可利用CVD方法,将样品处理后直接移入到气氛保护环境下的手李笔中。炉体采用看动式,可在实验室中对样品进行快速热和快速令却。此款仪器特别适台新代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
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