型号OTF-1200X-S-FBUS产品概述丌TF-1200X-s-FBUS是款带超声雾化模炔的立式流化床管式炉系统,可用于粉末材料的CVD工艺中( FBCVD此系统由颗粒悬浮立式管式和超声雾化模块组成。炉管内部嵌有一多孔石英板,石英板的孔径为5-15um粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在热区域,进行沉积实验。对于核夷洁构的纳冰颗粒制督是款理想的实验仪影。
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