Andor SX系列真空腔内式光谱CCD探测器,采用背感光、前感光CCD芯片可以对软X射线到真空紫外波段的光子进行直接探测。芯片规格主要有1024*1024以及2048*2048两种。为了保证探测的灵敏度,CCD探测器同样采用半导体深度制冷,制冷温度*低可达-70°C。真空度可支持10-5mbar及更低。
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