型号OTF-1200X-5S产品概述OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1100℃C。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1°C。此款管式炉最多可对5英寸的晶片进行退火
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