由作为位置基准(刻度)的光栅尺,和解读其刻度获得位置信息的信号处理部组成。 ◦配合使用好光栅尺的反馈信号和细分驱动功能,可以极大地减少丝杠导程误差的影响。 ◦采用了线膨胀系数小的光栅尺,受周围温度环境的影响小,可靠性好,定位精度高。 ◦ 适用于要求亚微米量级的准确定位,或者存在温度变化时的长时间驱动等场合。
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